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硅片粗拋液:

1.拋光速率快、拋光幾何參數(shù)好。

2.拋光墊污染小

3.循環(huán)使用穩(wěn)定性好。

4.高稀釋比（1：40）

5.拋光后表面易清洗。

6.無劃傷和拉絲

硅片精拋液:

1.拋光液純度高，拋光后表面金屬殘留低。

2.表面質(zhì)量好。